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Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS)
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Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS)

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